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  产品展示  
产品型号:
产品名称:

FFU净化过滤单元

发布时间:
2015/5/13 9:59:26
产品报价:
产品特点:
FFU英文全称为(Fan Filter Unit),中文专业用语为风机过滤机组。FFU风机过滤机组可模块化连接使用,使用FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合。
FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同
 
FFU净化过滤单元的详细资料:

产品介绍

FFU(层流罩)具有特点:
:灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
第二:可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
第四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
第五:减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。

FFU性能参数

模数尺寸:FFU常用的标准模数尺寸为1200X600(4’X2’),1200X900(4’X3’),1200X1200(4’X4’),吊龙骨中心线的间距。
实际尺寸: FFU过滤器的实际尺寸=模数尺寸-(龙骨断面宽度-25mm),风机模块的实际尺寸比过滤器稍大4mm。比如说常用的吊龙骨端面宽度为55mm,模数尺寸为1200,900,600所对应的FFU过滤器实际尺寸为1170,870,570,风机模块的实际尺寸为1174,874,574。
机外余压:在某一设定风速下,风机模块的总静压(TSP)扣除HEPA/ULPA过滤器的阻力,即为机外余压(ESP),单位是Pa。ESP是指FFU整机能克服洁净室循环风阻力的能力,无论是标注FFU机外余压或风机模块的总静压TSP,都必需指名送风风速或风量,否则没有意义。
输入能耗:FFU正常运转时输入电压和输入电流的乘积,单位是W。显然,FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,输入能耗不同。因此,如果不指明运行工况点,输入能耗值没有意义。
单体噪音:根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时在距离出风面中心正下方1.2mm处的噪音值,单位是dB(A)。FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,噪音不同。因此,如果不指明运行工况点,噪音值没有意义。
微振:根据标准IES-RP-CC002,FFU在运转工况点时的振动幅度和振动速率,单位分别是mm和mm/s。
送风均匀度:根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时,在距离出风面上方150mm(6”)的水平面上测量逐点的风速,得出平均风速值。平均风速与风速和*小风速的偏差比即为送风均匀度,单位为+/-%。标准IES-RP-CC002中要求FFU的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在+/-20%以内。
过滤器效率等级:依据欧洲标准EN1822,过滤器等级从H10-H14,U15-U17。或依据美国标准MIL-282(HEPA),对于0.3um的效率值;依据美国标准IES-RP-CC007.1,对于0.12um的效率值。
 


 

更新时间:2015/10/12 8:43:30

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